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iGX系列干泵维修

产品参数/ Product parameter

iGX系列干泵

 

概述

iGX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续一致的泵送能力。
iGX 干泵包括以太网连接功能,允许通过网页查看主要数据,另外还包括一套全面的网络选项,可确保泵持续运转。 
iGX 泵的峰值速度范围很宽,并可以改变以适合各种应用条件,包括从清洁到中等负载的各种工艺。模块化设计允许用户对 iGX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。超紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。 

应用

负载锁

输送

计量

功能和优势

低运行成本

 iL/iH 干泵相比,设施成本多可降低 50%

无需预防性维护

灵活的安装选项

小巧轻便,便于安装

工具上、近程或远程

可以改进工具吞吐量

可用的快的负载锁定泵之一

全程一致的泵送性能

 50  60 Hz 下抽速相同

降低了环境噪音

 55 dB(A)

峰值速度范围宽

100300600  800 m3h-1

技术数据

峰值速度

105 m3h-1

620 m3h-1

 

62 cfm

365 cfm

 

1750 l min-1

10333 l min-1

极限压力

5.00E-03 mbar

7.00E-04 mbar

 

3.75E-03 Torr

5.25E-04 Torr

 

0.50 Pa

0.07 Pa

AUC(有源设备控制器)

0.05 kW

0.05 kW

水入口*

1 slm

2 slm

0 slm

0 slm

占地面积(不包括排气装置)

0.20 m2

0.20 m2

重量

120 kg

220 kg

进气口连接

ISO63

ISO100

出口连接

NW25

NW25

极限噪音

< 55 dB(A)

< 55 dB(A)

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