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GX系列干泵维修

产品参数/ Product parameter

GX系列干泵

          

概要

GX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。 效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续一致的泵送能力。
GX 泵的峰值速度范围很宽,并可以改变以适合各种应用条件,包括从清洁到中等负载制程。 模块化设计允许用户对 GX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。 超紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。 

应用

负载锁

输送

计量

功能和优势

低运行成本

与 iL/iH 干泵相比,设施成本多可降低 50%

无需预防性维护

灵活的安装选项

小巧轻便,便于安装

工具上、近程或远程

可以改进工具吞吐量

可用的快的负载锁定泵之一

全程一致的泵送性能

在 50 和 60 Hz 下抽速相同

降低了环境噪音

 55 dB(A)

峰值速度范围宽

100300600 和 800 m3h-1

技术数据

 

GX100

GX600

GX1000

性能

 

 

 

峰值速度

105 m3h-1

620 m3h-1

800 m3h-1

 

62 ft3min-1

365 ft3min-1

471 ft3min-1

 

1750 lmin-1

10333 lmin-1

13333 lmin-1

极限压力

5 x 10-3 mbar

7 x 10 -4 mbar

1 x 10-3 mbar

 

3.75 x 10-3 Torr

5.25 x 10-4 Torr

7.5 x 10-4 Torr

 

0.5 Pa

0.07 Pa

0.10 Pa

700 Torr 排气压力下的极限

 

 

 

功率

1 kW

1.6 kW

1.6 kW

AUC(有源设备控制器)

0.05 kW

0.05 kW

1.05 kW

*

 

 

 

水入口

1 slm

2 slm

2 slm

氮气

0 slm

0 slm

或 14 slm **

安装详细信息

 

 

 

占地面积(不包括排气装置)

0.20 m2

0.20 m2

0.20 m2

重量

120 kg

220 kg

230 kg

入口连接

ISO 63

ISO 100

ISO 100

出口连接

NW25

NW25

NW25

极限噪音

<55 dB(A)

<55 dB(A)

<55 dB(A)

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