ULVAC爱发科NB系列罗茨真空泵

ULVAC爱发科NB系列罗茨真空泵
罗茨泵与油旋片真空泵、水环泵组合用，可在压力1.3×103~1.3×10-1Pa范围内提高抽气速率。NB系列罗茨泵是专为洁净度要求较高的场合而设计的。
特长
结净的真空
腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
能在高吸入压强下运转
选用比标准电机容量大一级的电机，即可实现在高吸入压强下的运转。
用途
照明、电子、光学、半导体
镀膜、溅射、离子镀、液晶注入
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉
分析仪器、检漏设备，CO2激光设备

机 型			NB100A	NB300A	NB600A	NB1200A
项 目
抽气速率*3    m3/h（L/min）		50Hz	95(1580)	280(4670)	500(8330)	1000(16667)
		60Hz	115(1920)	330(5500)	600(10000)	1200(20000)
大吸入压力      Pa (连续运转时)		50Hz	1.3×103	1.2×103	1.3×103
		60Hz	1.3×103	9.3×102	1.1×103
大允许压力差    Pa (排出压力-吸入压力)		50Hz	8.0×103	4.0×103	7.3×103
		60Hz	6.7×103	3.3×103	6.0×103
极限压力          Pa*1			4.0×10‐1			6.7×10‐1
标准粗抽泵			GLD-N280 VDN301	VDN401	VSN1501 VSN2401	VSN1501 VSN2401
电    机	kW (极) *2 *4		0.4（2）	0.75（2）	2.2（2）	3.7(2)
	V-Hz		380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz
使 用 油			ULVOIL® R-4
所需油量          L			0.35	0.70	1.50	1.90
冷却水量          L/min*6			空 冷	2 *5	2	3
进水压力          MPa			－		0.3
进出水压差        MPa			－	0.05	0.1
重    量          kg			24	49	77.5	110
吸气口径 (JIS B 2290)			相当 VG50	相当 VG80	相当VG80	相当VG100
排气口径 (JIS B 2290)			相当VF50	相当VF80	相当VF80	相当VF80

*1  用皮拉尼真空计测量的值，如用麦氏真空计测量，则为4.0×10-2Pa（3.0×10-4Torr），而NB1200A则为6.7×10-2Pa（5.0×10-4Torr）。
*2  电源为AC380V、50Hz、三相。
*3  随粗抽泵的性能而变化，表中为标准泵的组合的数据。
*4  NB300A、NB600A、NB1200A可分别选购1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量电机。
*5  对于530Pa（4Torr）以下可用空冷，但530Pa(4Torr)以上进行连续运转必须用水冷。 
*6  冷却水温为5～30℃。