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螺杆真空泵-DRYVAC DV系列

产品参数/ Product parameter

DRYVAC是新推出的干式压缩真空泵,根据应用特点泵可配置不同组件。DRYVAC系列为满足光电、显示器和加工工业应用特点而专门开发。

产品详情
螺杆真空泵-DRYVAC DV系列基本参数:
抽速:450~5000m3/h
    真空度:<0.005mbar
    电机功率:11~30KW
    噪音:65dB(A)
    冷却方式:水冷

技术参数表[50Hz]
Technical Date[50Hz]

DRYVAC DV

 

DV 450

DV 650

DV1200

DVR5000 C-i

DV 450-r

DV 650-r

DV1200 ATEX

DVR5000 S-i

DV 450 S

DV 650 S

DV1200 S-i

DVR5000 i

抽气速率[m³/h]
Nominal displacement[m³/h]

450

650

1250

3800

大压力差[mbar]
Max.differentialpressure[mbar]

≤5*10-3

≤5*10-3

≤5*10-3

≤5*10-4

螺杆真空泵-DRYVAC DV系列基本特点:
1、泵为完全密封结构,对外只有无磨损的O圈静密封,消除泄漏可能,适用于敏感性工艺。
2、尺寸紧凑,占地面积小高度低,进气口三个方向可选,非常方便集成入整体系统/设备中。
3、优化的螺杆/电机设计,使其成为目前市场上省电的螺杆泵,低于10mbar运行<7Kw(DV650)。
4、泵为变频器控制,集成了温度、排气压强、电流、吹扫气压力等监控保护,提高运行可靠性。
5、水冷泵向环境散热少,噪音低,操作简单。
6、极少的维护保养需求和运行成本,可靠性大、灵活性和系统正常运行时间。

螺杆真空泵-DRYVAC DV典型运用:
薄膜太阳能——SiN, ZnO, α-Si/?-Si, CdTe, CIS/CIGS,,etc.
晶硅太阳能——PECVD,拉晶和铸锭
进出片室LL&ULL
显示器和玻璃镀膜
耐磨涂层技术
卷绕镀
真空炉和热处理
真空干燥
电子束焊接
空间模拟
科研领域

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